Sensores baseados em magnetorresistencia anisotropica sao promissores para medidas de posicao tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo da ordem de 10 nm. Neste trabalho, propomos verificar se e possivel aumentar a variacao percentual da resistencia e a sensibilidade, para estruturas com boa estabilidade termica, simplesmente acrescentando uma etapa de oxidacao apos o crescimento de cada camada. Estudamos a influencia dos parametros de deposicao nas propriedades estruturais e magneticas das amostras e otimizamos o crescimento de filmes finos de NiFe pela tecnica de "magnetron sputtering." Verificamos a influencia do tratamento termico nas propriedades estruturais de nanoestruturas do tipo Ta/NiFe/Ta submetidas, ou nao, a oxidacao das interfaces. Observamos que a nanocamada de oxido de tantalo pode desempenhar o papel esperado, todavia, a qualidade cristalina das camadas de NiFe gera valores quantitativos de magnetorresistencia menores que os encontrados na literatura."