Die Kenntnis der Stromungsverhaltnisse in Spalten von Vakuumpumpen ist essentiell zur Berechnung des thermodynamischen Betriebsverhaltens. Eine Stromung kann hierbei durch eine Druckdifferenz, eine Temperaturdifferenz oder eine bewegte Berandung erzeugt werden. Methoden zur Simulation der verdunnten Spaltstromung mussen hierbei durch geeignete Versuche validiert werden. In diesem Band wird eine eindimensionale Theorie validiert, welche die drei Stromungsarten in einem weiten Bereich der Gasverdunnung abbilden kann. Diese Theorie zeichnet sich durch eine effiziente Berechnung der Stromung aus. Fur einen Vergleich werden Simulationen mittels DSMC-Methode, die das Gas auf Ebene der Teilchen modelliert, herangezogen. Zur Validierung der Simulationsergebnisse werden Versuchsaufbauten vorgestellt, die eine Messung des Spaltmassenstroms aufgrund einer Druckdifferenz und einer bewegten Berandung erlauben. Anhand der Messergebnisse und der Simulationsergebnisse der DSMC-Methode werden die Grenzen der Gultigkeit der eindimensionalen Theorie abgeleitet und beschrieben.