O presente trabalho trata do resgate da literatura sobre a tecnologia do vacuo englobando os seus fundamentos basicos, dispositivos de geracao, medicao e o estado da arte em aplicacoes na area de engenharia de precisao seguido de um projeto e desenvolvimento de mesas de vacuo aplicadas em maquinas-ferramenta. Sao apresentadas aplicacoes na engenharia de precisao que abrangem as escalas macro, micro e nano, ressaltando a importancia da tecnologia do vacuo em cada aplicacao. No projeto e desenvolvimento de mesas de vacuo, e descrita e aplicada uma metodologia propria que consiste em dimensionar mesas de vacuo capazes de fixar pecas mediante a usinagem em maquinas-ferramenta. Por meio de simulacao numerica computacional, sao avaliados os esforcos de deslocamento e tensao em cada mesa de vacuo dimensionada, de forma a eleger uma mesa que atenda a criterios de rigidez, peso e homogeneizacao do fluxo de vacuo para cada magnitude de forcas de usinagem."