Au cours de ce travail, nous avons analys et tudi le ph nom ne de d coh sion des films minces de leurs substrats. Utilisant le Microscope Force Atomique (AFM) coupl avec une micromachine de d formation, nous avons: - D tect et observ les premiers stades de d collement d'un film mince d'acier inoxydable 304 L labor par pulv risation ionique sur un substrat de polycarbonate, - D termin la valeur de la contrainte critique qui d clenche ce ph nom ne, - Montr que le ph nom ne de d collement est bien li aux contraintes et leur amplitude. Dans une seconde partie, nous avons propos une m thode pour la d termination du module d'Young des films minces. Cette m thode est essentiellement bas e sur un mod le qui traite les d collements et sur les performances de l'AFM dans la d termination de la g om trie de ces d collements. Utilisant la m thode des l ments finis et le logiciel de calcul CASTEM 2000, nous avons tabli pour la premi re fois une expression analytique de la force de glissement d'une dislocation coin situ e pr s d'un di dre d'un solide.