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Caractérisation électrique des transistors finfets

AUTHOR Talmat-R
PUBLISHER Omniscriptum (02/28/2018)
PRODUCT TYPE Paperback (Paperback)

Description
Dans ce travail, des mesures en r gime statique et en bruit ont t effectu es sur des transistors FinFETs r alis s sur substrat SOI, issus de la technologie 32 nm, ayant deux diff rents isolants de grille. L'un est l'oxyde d'hafnium et le second est le silicate d'hafnium nitrur . La plupart de ces dispositifs ont subi des techniques de contrainte m canique locales et globales. Les r sultats de mesures en statique ont montr l'am lioration consid rable des performances dans les transistors contraints par rapport aux transistors standards. Les r sultats de mesures de bruit ont permis d' valuer la qualit de l'isolant de ces dispositifs, le silicate d'hafnium nitrur semble avoir une meilleure qualit . L' tude du bruit a permis aussi d'apporter des informations sur le transport ainsi que sur les m canismes physiques qui g n rent le bruit en 1/f dans ces dispositifs. Les mesures de bruit en fonction de la temp rature (100 K - 300 K) ont permis d'identifier des d fauts, souvent li s la technologie de fabrication, dans le film de silicium par la m thode de spectroscopie de bruit.
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Product Format
Product Details
ISBN-13: 9786131577888
ISBN-10: 6131577889
Binding: Paperback or Softback (Trade Paperback (Us))
Content Language: French
More Product Details
Page Count: 152
Carton Quantity: 52
Product Dimensions: 6.00 x 0.35 x 9.00 inches
Weight: 0.51 pound(s)
Country of Origin: FR
Subject Information
BISAC Categories
Technology & Engineering | Electronics - General
Technology & Engineering | General
Descriptions, Reviews, Etc.
publisher marketing
Dans ce travail, des mesures en r gime statique et en bruit ont t effectu es sur des transistors FinFETs r alis s sur substrat SOI, issus de la technologie 32 nm, ayant deux diff rents isolants de grille. L'un est l'oxyde d'hafnium et le second est le silicate d'hafnium nitrur . La plupart de ces dispositifs ont subi des techniques de contrainte m canique locales et globales. Les r sultats de mesures en statique ont montr l'am lioration consid rable des performances dans les transistors contraints par rapport aux transistors standards. Les r sultats de mesures de bruit ont permis d' valuer la qualit de l'isolant de ces dispositifs, le silicate d'hafnium nitrur semble avoir une meilleure qualit . L' tude du bruit a permis aussi d'apporter des informations sur le transport ainsi que sur les m canismes physiques qui g n rent le bruit en 1/f dans ces dispositifs. Les mesures de bruit en fonction de la temp rature (100 K - 300 K) ont permis d'identifier des d fauts, souvent li s la technologie de fabrication, dans le film de silicium par la m thode de spectroscopie de bruit.
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