Der Einfluss des Wassergehalts in unterschiedlichen Verhältnissen für Wasser/Tetraethylorthosilikat (H2O/TEOS-Molverhältnis) (R=2,3,4 und 5) wurde untersucht. R=2 wurde als bestes Verhältnis für die Zugabe von organischen Polymeren (PMMA&PVC) zur Herstellung von Filmen aus organisch-anorganischen Materialien und organischen Farbstoffen zur Herstellung von Filmen aus Hybridmaterialien ausgewählt. Es wurden zwei Formen von Siliziumdioxid hergestellt. Der Siliziumdioxid-Xerogel-Stab wurde durch Formpressen hergestellt, und die Siliziumdioxid-Dünnschicht wurde durch Spin-Coating hergestellt. Organisch-anorganische Hybridfilme wurden mit verschiedenen Mischungsverhältnissen hergestellt (20 % Polymer + 80 % TEOS, 50 % Polymer + 50 % TEOS, 80 % Polymer + 20 % TEOS). Die Röntgenbeugung zeigte die Bildung einer amorphen Struktur. Die Transmissionsspektren der Proben zeigten eine gute Transparenz und Homogenität. Die FTIR-Spektroskopie wurde im Bereich von 3700 bis 3500 cm-1 untersucht, was der O-H-Streckschwingung von molekularem Wasser entspricht. Der Bandbereich von 2200 bis 1600 cm-1 entspricht der O-H-Biegeschwingung von molekularem Wasser und Lösungsmittel (Alkohol C2H5OH). Im Bereich von 1300-400 cm-1 ist die Bande bei 1378-1060 cm-1 der asymmetrischen Streckschwingung von Si-O-Si zuzuordnen, während die Bande bei 470-450 cm-1 mit der Biegeschwingung der Si-O-Si-Bindung in Verbindung steht.