У монографії узагальнено результати багаторічних систематичних досліджень за участі авторів та проаналізовано велику кількість літературних джерел щодо фізичної природи тонкої спектральної структури в області характеристичних втрат енергії первинних електронів в інтервалі 5-1000 еВ, що відображає специфічні поверхневі властивості монокристалічних сплавів, монокристалічного кремнію Si(111) та багатошарових металевих плівок. Розглянуто фізичні основи неруйнівних методів низькоенергетичної електронної спектроскопії для пошарового аналізу фізико-хімічних властивостей нанорозмірної поверхневої області з моношаровим розділенням. Показано, що за допомогою спектроскопії плазмових втрат можна встановити границю поділу поверхня-об'єм у монокристалічних сплавах, а також провести кількісне пошарове дилатометричне дослідження приповерхневої області. Досліджено енергетично залежний поверхневий та об'ємний плазмонний спектр втрат енергії для монокристалу Si(111) в інтервалі