W nowoczesnej mikroelektronice najbardziej intensywnie rozwijającym się sektorem są systemy mikroelektromechaniczne, MEMS. Kierunek ten oparty jest na najnowszych osiągnięciach technologii mikroelektronicznych i ma na celu stworzenie mikromechanizmw wykonawczych, ktre mają wcześniej nieosiągalne możliwości funkcjonalne. W ostatnich latach MEMS wywarl znaczący wplyw na codzienne życie dziesiątkw milionw ludzi, poprzez stworzenie nowych rynkw dla mobilnej elektroniki, o nieznanych wcześniej wlaściwościach konsumpcyjnych i branżach - motoryzacyjnej, elektronicznej, lotniczej i kosmicznej, medycznej, itp. Jednak do tej pory większośc specjalistw, twrcw sprzętu elektronicznego i użytkownikw zaawansowanych technologicznie urządzeń nie ma wystarczających informacji na temat nowego kierunku rozwoju mikroelektroniki. W książce omwiono obecny stan tego kierunku mikroelektroniki, szeroki zakres jej praktycznych możliwości i perspektywy dalszego rozwoju. Uwzględniono fizyczne zasady funkcjonowania MEMS i ich charakterystykę. Książka przeznaczona jest dla specjalistw z zakresu mikroelektroniki, informatyki oraz studentw uczelni technicznych.