Niniejsza ksi??ka przedstawia projekt, analiz? i syntez? czujnika tlenku w?gla na bazie krzemu z wykorzystaniem technologii MEMS. Nacisk polo?ono na badanie wplywu temperatury mikroplytki na zmiany mocy, poniewa? analit jest wra?liwy na okre?lony gaz w wysokiej temperaturze. Ogólnym podej?ciem zastosowanym w tej pracy jest zbadanie mo?liwo?ci wykorzystania mikroplytki do wykrywania gazu. W celu uko?czenia projektu czujnika, analiza jest istotn? cz??ci?, poniewa? pokazuje rozklad temperatury w mikroplytce. Realizuj?c cel ksi??ki, zaprojektowano i zasymulowano krzemowy czujnik tlenku w?gla do wykrywania substancji chemicznych. Folia czujnikowa stosowana do wykrywania tlenku w?gla to folia z tlenku cyny. Jest ona szeroko stosowana w czujnikach gazu, poniewa? jest wra?liwa na okre?lony gaz w wysokich temperaturach. Aby osi?gn?c tak wysok? temperatur? pracy, opracowano mikrostruktur? zwan? mikro-plytk?.