Przezroczyste tlenki przewodz?ce (TCO), które l?cz? przezroczysto?c optyczn? i przewodnictwo elektryczne, s? niezb?dne w cienkowarstwowych technologiach fotowoltaicznych. W niniejszej pracy zbadano syntez? niedomieszkowanych i domieszkowanych (Li, V, Gd) cienkich warstw ZnO metod? chemicznej pirolizy natryskowej, w celu ich integracji w zl?czach PN. Tomografia atomowa (APT) ujawnila jednorodny rozklad Li. Analizy Ramana, FTIR, SEM, EDX i XPS potwierdzily struktur? i sklad warstw. Warstwy domieszkowane wanadem wykazuj? struktur? wurtzytu, dobr? przezroczysto?c (400-1200 nm), pasmo wzbronione 3,18-3,26 eV i lepsz? mikrotwardo?c. Domieszkowanie gadolinem modyfikuje morfologi? i utrzymuje transmisj? optyczn? na poziomie 60-80% z przerw? wzbronion? 3,24-3,26 eV. Wreszcie, wytworzone heterozl?cza n-ZnO/p-Si wykazuj? obiecuj?c? wydajno?c, potwierdzaj?c zainteresowanie warstwami do zastosowa? fotowoltaicznych i optoelektronicznych.